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我国发布全新电容和电感基准装置，升级高端电子元件精密测量源头

发布时间:2023-04-02 12:14

从市场监管总局获悉，近日，市场监管总局发布新的电容基准装置和电感基准装置，升级高端电子元件精密测量源头，更好支撑我国电子元器件制造产业升级，促进电力、电子和通信产业高质量发展。

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▲ 电容基准装置和电感基准装置，图源“市说新语”微信公众号

电容、电感和电阻是基本的电路元件，广泛应用于电力、电子和通信领域。高端电子元器件制造、筛选与产业化，都离不开电容和电感量值的准确计量。日常生活中的手机、电脑、家用电器、汽车等消费类电子产品都大量使用各种型号的电容、电阻和电感元件。

新的电容基准装置通过激光测长系统实时测量计算电容主电极的轴向长度实现电容单位高准确度复现，克服了原电容基准装置无法实时溯源轴向长度的难题，同时实现了我国提出的克服端部效应的电补偿方案，自主研制了电容传递电桥，将电容量程由 10 pF 扩展到了 100 pF，进一步提高了复现电容单位的能力。

新的电感基准装置采用国际上更为通用的麦克斯韦维恩电桥法，自主研制了电感基准传递电桥和过渡标准电感器组，复现电感量值标准不确定度，从原电感基准装置的 5 μH / H 提升至 2 μH / H。

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新的电容基准装置和电感基准装置在更高的技术水平上复现了电容单位“法拉”和电感单位“亨利”，所参加的国际关键比对结果验证表明，我国的电容和电感量值复现能力处于国际先进水平，进一步提高我国在国际电磁阻抗计量领域的影响力和话语权。

新的电容基准装置和电感基准装置能够更好地满足我国航空航天、微电子等高精尖领域的溯源需求，相关关键技术能解决用于地震的监测与预测、地质勘探、航天器发射与导航等领域的超导重力仪中超高精度差分位移检测难题。其中，新的电容基准装置的电容检测灵敏度可达 1×10-9 pF，可实现亚纳米（埃）级的微位移精确测量，相当于一根头发丝直径的十万分之一的位移变化。同时，在微电子行业的集成电路领域，新的电容基准装置可解决我国微小电容量值的溯源校准能力缺失问题，为集成电路在线参数和可靠性测试提供片上阻抗标准及溯源依据。


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